Millised on spetsiaalse võlli ülitäpse lineaarse võlli rakendused teadusuuringutes?

Spetsiaalne võll, ülitäpne lineaarne võllon täppisautomaatikaseadmete ja teadusuuringute instrumentide põhiülekandekomponent. Selle disain, tootmine ja jõudlus ületavad tunduvalt tavaliste lineaarsete juhikute oma.

Suurepärane positsioneerimistäpsus ja korratavus: see on selle põhifunktsioon. Sellel on tavaliselt mikronite (μm) või isegi alla mikronite asukoha määramise täpsus ja korratavus (näiteks ±1 μm või rohkem). See on ülimalt suurt täpsust nõudvate ülesannete jaoks hädavajalik.

Äärmiselt väike liikumisviga: Sirgusviga: Liikumistrajektoori kõrvalekalle ideaalsest sirgjoonest on äärmiselt väike. Tasasusviga: liikumistasandi kõrvalekalle ideaalsest tasapinnast on väga väike.

Kalde/lengerduse/rullumise viga: telje pöördenurga viga ümber iga telje liikumise ajal on rangelt kontrollitud. Abbe viga: disain vähendab oluliselt Abbe vea mõju, optimeerides struktuuri (näiteks juhtrööpa ja mõõtepunkti kolineaarne/tasatasandiline disain) või kasutades kompensatsioonialgoritme.

Kõrge jäikus:Spetsiaalne võll, ülitäpne lineaarne võllon tugeva konstruktsiooniga ning selle materjalid ja tootmisprotsessid on suurepärased, mis võimaldab taluda väliskoormustest (eriti külgsuunalistest jõududest või momentidest) põhjustatud väikseid deformatsioone, tagades selle kõrge täpsuse ka koormuse all. Hõõrdumine ja sujuv liikumine: kasutatakse suure jõudlusega juhtmeetodeid (nt eellaaditud kuuljuhikud, rulljuhikud, hüdrostaatilised juhikud ja õhus ujuvad juhikud), millel on madal ja stabiilne hõõrdumine. Sellega saavutatakse ülimalt sujuv ühtlane liikumine (ilma roomamiseta) ja kiire start-stopp reaktsioon. Suurepärane termiline stabiilsus ja kohanemisvõime keskkonnaga: kasutage äärmiselt madalate soojuspaisumisteguriga materjale (nagu keraamika, erisulamid) või kompenseerige termilist deformatsiooni konstruktsioonikujunduse/aktiivse temperatuurikontrolli abil, et tagada täpsus temperatuuri tõustes või kõikuvates keskkondades. Mõnel mudelil on hea saastevastane võime (eriti õhuhõljumine, magnetlevitatsioon) või vaakumühilduvus.

Kõrge eraldusvõimega tagasisidesüsteem: tavaliselt on nanomeetri taseme kontrolli saavutamise aluseks integreeritud ülikõrge eraldusvõimega lineaarvõre skaalad (näiteks nanomeetri eraldusvõime) või laserinterferomeetrid suletud ahela asendi tagasisidena.

Peamised kasutusvaldkonnad: Pooljuhtide tootmine ja kontroll: litograafiamasin (astmeline skaneerimine): vahvliastme ja maski staadiumi tuum on nanomeetri tasemel täpne positsioneerimine. Vahvlite kontrollimise seadmed: sondijaama ja mikroskoopilise kujutise platvormi täpne liikumine defektide kontrollimiseks ja mõõtmiseks. Laastude pakendamine ja testimine: ülitäpsete paigutusmasinate, traadi sidumismasinate ja testsorteerimismasinate põhiliikumise telg. Täppisoptika ja fotoonika: optiliste komponentide töötlemine ja kontroll: otsekirjutamine laseriga, teemanttreimise tööpingid ja interferomeetri platvormide positsioneerimisteljed.

Mikroskoop (konfokaalne, üliresolutsiooniga): lava- ja objektiiviläätse nanoskaala skaneerimine ja positsioneerimine. Lasertöötlusseadmed: telg kiire tee või tooriku täpseks positsioneerimiseks mikrotöötlus-, märgistamis-, puurimis- ja lõikeseadmetes. Tipptasemel metroloogia ja kontroll: kolme koordinaadiga mõõteseade: mõõteõla ülitäpne liikumine kolmemõõtmelises ruumis.

Profilomeeter/karedusmõõtur/ümarusmõõtur: andurite täpne positsioneerimine ja skaneerimine.

Laserjälgija/interferomeetri kalibreerimisplatvorm: pakub täpset võrdlusliikumise teekonda. Bioteadus ja meditsiiniseadmed: Geenijärjestaja: prooviastme ja optilise skaneerimispea täpne samm ja teravustamine. Rakkude manipuleerimise/mikrosüstimise seadmed: mikronõelte või laserkiirte täpne sihtimine ja liikumine. Kvaliteetsed meditsiinilised kuvamisseadmed: PET/CT/MRI detektorite täpsed positsioneerimiskomponendid. Täiustatud tootmine ja teadusuuringud:

Ülitäpne töötluskeskus: tööpinkide tööriista telje etteanaliikumine. FIB/SEM: prooviastmega manipuleerimine fokuseeritud ioonkiir/skaneerivas elektronmikroskoobis. Materjaliteaduse katseplatvorm: pisikeste proovide täpne positsioneerimine, laadimine või mõõtmine. Kvanttehnoloogia eksperimentaalne seade: vajalik on ülitäpne nihke juhtimine äärmuslikes tingimustes (madal temperatuur, vaakum). Lennundus ja kaitse: inertsiaalsete navigatsiooniseadmete katsestend, optiline sihtimissüsteem, täppisservo juhtimismehhanism jne.

Spetsiaalne võll, ülitäpne lineaarne võllon põhiline riistvara tipptasemel tehnoloogiliste läbimurrete ja tootmisprotsesside uuenduste saavutamiseks. Selle omadused "kõrge täpsus, kõrge jäikus, kõrge stabiilsus ja väike viga" muudavad selle asendamatuks põhikomponendiks sellistes valdkondades nagu kiibi tootmine, täppismõõtmine, biomeditsiin, tipptasemel teadusuuringud jne, millel on ranged nõuded liikumise täpsusele ja mis määravad otseselt seadme jõudluse ülemise piiri.